? ? ? ?直線導軌作為刀具和工件相對定位機構的直線導軌,是僅次于主軸的重要部件。對超精密加工機床的直線導軌的基本要求是:動作靈活、無爬行等不連續動作;直線精度好;在實用中應具有與使用條件相適應的剛性;高速運動時發熱量少;維修保養容易。超精密加工機床中的常用導軌有V-V型滑動導軌和滾動導軌、液體靜壓導軌和氣體靜壓導軌。傳統的V-V型滑動導軌和滾動導軌在美國和德國的應用都取得了良好的效果。后兩種都屬于非接觸式導軌,所以完全不必擔心爬行的產生。從精度方面來考慮后兩種也是最適宜的導軌。液體靜壓導軌由于油的粘性剪切阻力而發熱量比較大,因此必須對液壓油采取冷卻措施。另外液壓裝置比較大,而且油路的維修保養也麻煩。氣體靜壓導軌由于支承部是平面,可獲得較大的支承剛度,它幾乎不存在發熱問題,如果最初的設計合理,則在后續的維修保養方面幾乎不會發生什么問題。但必須注意導軌面的防塵。空氣導軌的間隙僅為十幾微米,而對如此大小的塵埃肉眼是看不到的,這樣的塵埃即使是潔凈室也不能完全消除,塵埃落入空氣導軌面內會引起導軌面的損傷。總體看來,空氣靜壓導軌是目前最好的導軌,但若不能保證防塵條件,則須改用液體靜壓導軌。目前空氣靜壓直線導軌的直線度可達0.1~0.2m/250mm。
? ? ? ? 通過安裝調整空氣靜壓導軌得出如下結論:
????????(1)必須保證足夠的排氣通道,否則溜板將產生位置擾動,擾動量有時達數微米。
????????(2)從理論上講減小節流孔徑和氣膜厚度,可以提高溜板剛度,但帶來工藝上的困難。用傳統機械加工手段很難加工出<f0.15mm的小孔,需探求其它加工手段,也對防止小孔堵塞提出了更高的要求。
????????(3)T型導軌的側氣浮塊和下氣浮塊均由螺釘緊固,形成懸臂結構,當用螺釘緊固和有空氣壓力作用時,有可能產生變形,使氣膜厚度不均勻以致于影響其性能。但經過計算證明,使用長螺釘時,氣浮塊和螺釘變形均稍大;使用短螺釘時,氣浮塊和螺釘的變形都在亞微米級,可忽略不計。